新技术提高太阳能电池生产速度

据悉，太阳能电池的硅薄膜一般用等离子化学气相沉积法生成。等离子化学气相沉积法的要点是将气态硅喷涂到基板上，但是如果需要面积大的薄膜，喷涂的气体压力就容易下降，膜的形成速度就会变慢。日本三洋电机公司成功开发出了高速生产硅薄膜的技术，并用新技术生产出了双重构造的薄膜型太阳能电池，使以较低成本生产光电转换效率较高的实用太阳能电池成为可能。

技术人员用新技术试制了纵向５５厘米、横向６５厘米的太阳能电池板，薄膜的形成速度相当于每秒３纳米厚。如果利用这一新技术生产厚２微米的双层硅薄膜，速度可提高到原来的９倍。太阳能电池板的光电转换效率可达９．８４％，比薄膜型太阳能电池通常５％至８％的转换效率要高。

三洋电机公司通过将喷涂气态硅的喷嘴形状从原先的扁平状改成金字塔状，成功使气态硅维持高压状态。制造速度的提升，使每台设备的产量大幅提高，生产成本随之显著降低。据三洋电机公司介绍，如果用于实际批量生产，那么平均每瓦功率的成本约为１５０日元（约合１．４美元），大约是晶体硅的一半。